发明名称 利用气体充压以抑制载板翘曲的载板固定方法
摘要
申请公布号 TWI437672 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW100146868 申请日期 2011.12.16
申请人 印能科技股份有限公司 新竹市关新路19巷31号3楼 发明人 洪志宏
分类号 H01L23/28;H01L21/67 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人 周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项
地址 新竹市关新路19巷31号3楼