载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法,申请号TW098120057-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法
摘要
申请公布号	TWI437374	申请公布日期	2014.05.11
申请号	TW098120057	申请日期	2005.02.02
申请人	尼康股份有限公司日本	发明人	柴崎佑一
分类号	G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	桂齐恒台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址	日本

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