微影装置及元件制造方法,申请号TW100106532-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	微影装置及元件制造方法
摘要
申请公布号	TWI437378	申请公布日期	2014.05.11
申请号	TW100106532	申请日期	2011.02.25
申请人	ＡＳＭＬ荷兰公司荷兰	发明人	凡　德仁特　威廉　彼得
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	陈长文台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址	荷兰

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