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发明名称 用于一沉积腔体之扩散件
摘要
申请公布号 TWM478028 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW102221497 申请日期 2013.11.18
申请人 应用材料股份有限公司 美国 发明人 赵来;古田学;王群华;崔寿永;李东硕;朴　范洙;杨晓玲
分类号 C23C16/455 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址 美国
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