发明名称 分断棒
摘要
申请公布号 TWI437626 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW099116543 申请日期 2010.05.24
申请人 三星钻石工业股份有限公司 日本 发明人 池田健一郎
分类号 H01L21/301;H01L21/304 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本