具有转动式反射部之曝光装置,申请号TW102218747-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	具有转动式反射部之曝光装置
摘要
申请公布号	TWM478177	申请公布日期	2014.05.11
申请号	TW102218747	申请日期	2013.10.07
申请人	科毅科技股份有限公司桃园县杨梅市高狮路863巷10号	发明人	林宪维;林奇麟
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人	赵元宁台中市南区建国南路1段263号2楼
主权项
地址	桃园县杨梅市高狮路863巷10号

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