发明名称 晶圆接合的间隔件
摘要
申请公布号 TWI437646 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW097100506 申请日期 2008.01.07
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 葛利森;雪里欧;艾保罗
分类号 H01L21/50;H01L23/10 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号