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发明名称 化学机械平坦化组合物、系统及使用方法
摘要
申请公布号 TWI437084 申请公布日期 2014.05.11
申请号 TW096148796 申请日期 2007.12.19
申请人 ３Ｍ新设资产公司 美国 发明人 约翰　詹姆士　葛莉亚迪;派西亚　玛莉　沙缪
分类号 C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼;简秀如 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国
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