| 摘要 |
Чувствительный элемент микромеханического датчика угловых скоростей, выполненный на подложке из монокристаллического кремния, содержащий основание, основное кольцо, дополнительное кольцо, соединенное с основным кольцом через опорную рамку, упругие подвесы, отличающийся тем, что дополнительное кольцо идентично основному, оба кольца закреплены на диэлектрической подложке симметрично с противоположных сторон диэлектрической подложки. |
