| 摘要 |
Датчик измерения разности давлений с частотно-модулированным выходным сигналом, содержащий полый корпус, две идентичные мембраны с эпитаксиально выращенными на них резонаторами, систему возбуждения колебаний резонаторов с постоянным магнитом и систему формирования выходного сигнала, отличающийся тем, что монокристаллические мембраны с резонаторами разделены вакуумированным промежутком. |
