| 摘要 |
<p>그래핀 등의 탄소 재료 제조 시, 금속 촉매를 사용하지 않는 무촉매 공정으로 탄소 재료를 제조하되, 기존의 복잡한 전사 공정 및 패터닝의 후공정을 거칠 필요 없이, 탄소 재료 형성 전부터 이미 패터닝을 수행함으로써 소자용 기판 상에 패턴화된 고품질의 탄소 재료를 효율적으로 제공할 수 있고, 패터닝 공정 자체도 용이하며, 전체적인 제조 공정이 간단해지고 공정 비용이 절감되므로 대량 생산 공정에 적합한 패턴화된 탄소 재료의 무촉매 연속 제조 장치 및 방법을 제공할 수 있다.</p> |
