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<p>타깃 시료 작업 표면에서 제어된 안정도를 가지고 두 개의 레이저 가공 빔을 형성하는 방법 및 시스템은 광 특성 조정을 수행하기 위해 결합되는 분리된 제1 및 제2 빔 경로를 따라서 전파하는 제1 및 제2의 상호 코히어런트 레이저 빔(130, 140)을 포함한다. 결합된 레이저 빔은 분리된 빔 경로를 따라 전파하는 그리고 각각의 제3 및 제4 메인 빔 요소(192l)를 포함하는 제3 및 제4 레이저 빔(192, 194)으로 분리되고, 제3 및 제4 레이저 빔 중 하나는 누설 요소를 제공하는데 이 요소는 제3 및 제4 레이저 빔 중 다른 하나의 메인 빔 요소(192m)와 상호 시간 코히어런스해서 공동전파한다. 누설 요소와 이 누설요소가 공동전파하는 다른 하나의 메인 빔 요소와의 상호 시간 코히어런스 효과는 음향-광 변조(150, 160) 주파수 이동을 통해 또는 두 개의 빔내에서 광 경로 길이 차이(404, 504)의 통합을 통해 감소된다.</p> |
