| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und einer Verfahren zur Mikroskopie (100) einer Vielzahl von Proben (102), wobei die Vorrichtung umfasst: – einen ersten optischen Detektor (106, 108), welcher ausgelegt ist, nacheinander eine Vielzahl von Messpositionen einzunehmen und an jeder Messposition erste Bilddaten (200) einer Probe (104) mit einer ersten räumlichen Auflösung zu erfassen; – eine Bilddatenauswerteeinrichtung, die ausgelegt ist, für jede Probe (202) einen innerhalb der jeweiligen ersten Bilddaten (200) dargestellten, zu untersuchenden Bereich (204) der Probe festzulegen; – einen zweiten optischen Detektor (110, 112), welcher derart an den ersten optischen Detektor (106, 108) gekoppelt ist, dass der zweite optische Detektor (110, 112) dem ersten optischen Detektor (106, 108) nachfolgt, so dass der zweite optische Detektor (110, 112) Messpositionen einnimmt, die zeitlich vorher der erste optische Detektor (106, 108) eingenommen hatte, und wobei der zweite optische Detektor (110, 112) ausgelegt ist, für jede Probe (202) zweite Bilddaten (300) von dem zu untersuchenden Bereich (204) der jeweiligen Probe (202) mit einer zweiten räumlichen Auflösung zu erfassen, die höher ist als die erste räumliche Auflösung. |
