Verfahren zur Herstellung einer optischen Vorform mit einer POD-Mantelglasschicht

摘要

Es wird ein Plasma-Abscheideprozess zur Herstellung einer optischen Vorform angegeben, die sich durch eine Mantelglasschicht mit nicht-rundem Innenquerschnitt bei hoher Fluordotierung und axial und radial vorgegebener, im einfachsten Fall möglichst gleichmäßiger Dotierstoffverteilung auszeichnet. Hierzu wird ein zweistufiges Verfahren vorgeschlagen, bei dem ein Substratkörper mit nicht-rundem Querschnitt zunächst zu einem beschichteten Substratkörper mit kreisrundem Querschnitt umgestaltet wird, indem auf eine vorhandene Auffüllfläche eine POD-Füllschicht aus Quarzglas mit der Fluor-Nominalkonzentration abgeschieden und rundgeschliffen wird, und darauf in der zweiten Verfahrensstufe eine im Querschnitt kreisringförmige POD-Hüllglasschicht aus fluordotiertem Quarzglas abgeschieden wird.