| 摘要 |
Bereitgestellt ist eine Ingotzuchtvorrichtung, die einen Tiegel umfasst, der eine Siliziumschmelze enthält, eine Ziehvorrichtung, die einen Siliziumeinkristallingot zieht, der aus der Siliziumschmelze gezüchtet wurde, und eine Dotierstoffversorgungseinheit, die benachbart zur der Ziehvorrichtung angeordnet ist und einen Dotierstoff während des Züchtens des Ingots bereitstellt. Der Halsabschnitt kann mit einer Konzentration durch die Dotierstoffversorgungseinheit dotiert sein, die höher ist als jene der Ingots. Demzufolge kann eine Versetzungsfortpflanzungsgeschwindigkeit verringert sein und eine Ausbreitungslänge kann verkürzt sein. |
