| 摘要 |
<p>본 발명은 태양전지용 양면 전기 도금을 위한 기판 캐리어 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 캐리어 장치(100)는 개구(opening) 영역의 형태를 가지며 테두리에 설치된 복수의 제 1 돌출 지지부(140)와 복수의 제 2 돌출 지지부(150)를 통해서 수용대상 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 웨이퍼 수용영역(105)와, 웨이퍼 수용영역의 좌우 측에 각각 설치되어 고정 위치에서 회전하면서 클립개방(-웨이퍼와 접촉점을 형성) 및 클립닫힘(-웨이퍼와의 접촉점이 해제) 상태를 조작하는 클립장착용 로드(106, 107, 108, 109)와, 클립장착용 로드에 설치되며, 클립장착용 로드의 회전에 의해 클립개방 및 클립닫힘 상태가 결정되는 다수의 제 1 클립(160)과, 제2면에서 웨이퍼 수용영역(105)의 주위에 설치되며, 제 2 돌출 지지부(150)에 형성된 구멍(151)을 관통하는 다수의 제 2 클립(170)을 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
