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<p>배선중첩 커패시턴스가 감소된 표시기판, 이의 제조방법 및 이를 갖는 표시장치가 개시된다. 표시기판은 베이스 기판, 게이트 배선, 게이트 절연막, 데이터 배선, 박막 트랜지스터 및 화소전극을 포함한다. 게이트 배선은 베이스 기판 상에 제1 방향으로 형성된다. 게이트 절연막은 게이트 배선을 덮도록 베이스 기판 상에 형성된다. 데이터 배선은 게이트 절연막 상에 제1 방향과 교차되는 제2 방향으로 형성되고, 게이트 배선과 교차되는 영역에 게이트 배선과의 사이로 에어갭(air gap)을 형성하며, 에어갭과 연결되는 적어도 하나의 식각홀을 갖는다. 박막 트랜지스터는 게이트 배선 및 데이터 배선과 전기적으로 연결된다. 화소전극은 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된다. 이와 같이, 게이트 배선 및 데이터 배선 사이에 에어갭이 형성됨에 따라, 게이트 배선 및 데이터 배선 사이에 형성되는 배선중첩 커패시턴스가 감소될 수 있다.</p> |
