硅铸锭用坩埚及其涂层制备方法

摘要

本发明提供一种硅铸锭用坩埚及其涂层制备方法。坩埚包括坩埚本体、覆盖在坩埚本体内壁上的氧化铝涂层和覆盖在氧化铝涂层上的氮化硅涂层。方法包括：量取一定量纯水，将其置于一超声水浴容器内的烧杯中，调整水浴温度为35℃至40℃；称取一定量氧化铝微粉并加入烧杯中，然后开启超声水浴容器进行搅拌；30分钟后将搅拌好的氧化铝浆料刷制在内壁温度为40℃至45℃的坩埚本体内壁上，待氧化铝浆料完全干燥再量取一定量纯水，并将其置于烧杯中，调整水浴温度为35℃至40℃；称取一定量氮化硅粉体并加入所述烧杯中，开启超声水浴容器进行搅拌；30分钟后将搅拌好的氮化硅浆料喷涂至氧化铝涂层上；将喷涂完成的坩埚置于温度为200℃的烧结炉内进行烘干烧结。

主权项

一种硅铸锭用坩埚，包括坩埚本体，其特征在于：所述坩埚还包括覆盖在所述坩埚本体内壁上的由纯水和氧化铝微粉制成的氧化铝涂层和覆盖在所述氧化铝涂层上的由纯水和氮化硅粉体制成的氮化硅涂层。