读取晶圆标识的方法及晶圆标识读取装置

摘要

本发明公开了一种晶圆标识读取装置，该装置包括：晶圆标识读取器、驱动马达和光学处理器；晶圆标识读取器包括垂直于水平面设置的照相机，以及与照相机成夹角移动的光源；所述照相机用于扫描晶圆标识；所述光源用于在与照相机呈预定角度下提供光强；驱动马达，分别与光源和光学处理器连接，用于根据光学处理器的命令信号调节光源与照相机之间的夹角；光学处理器，与光源连接，用于控制逐渐增加光源与照相机之间的夹角；还用于读取光源与照相机之间成不同的夹角时的光强，并将所述光强反馈给光源。本发明还公开了一种读取晶圆标识的方法。采用本发明能够快速准确读取晶圆标识。

主权项

一种晶圆标识读取装置，该装置包括：晶圆标识读取器、驱动马达和光学处理器；晶圆标识读取器包括垂直于水平面设置的照相机，以及与照相机成夹角移动的光源；所述照相机用于扫描晶圆标识；所述光源用于在与照相机呈预定角度下提供光强；驱动马达，分别与光源和光学处理器连接，用于根据光学处理器的命令信号调节光源与照相机之间的夹角；光学处理器，与光源连接，用于控制逐渐增加光源与照相机之间的夹角；还用于读取光源与照相机之间成不同的夹角时的光强，并将所述光强反馈给光源。