二氧化硅容器及其制造方法

摘要

本发明是一种二氧化硅容器的制造方法，其用以制造具备二氧化硅基体而构成的二氧化硅容器，该二氧化硅基体具有旋转对称性，其中，所述二氧化硅容器的制造方法，包含：暂时成型为规定形状的工序，该工序一边使具有减压用孔的外模框旋转，一边导入基体用原料粉(二氧化硅粒子)至外模框的内壁，而暂时成型为规定形状；及形成二氧化硅基体的工序，该工序从暂时成型体的内侧，供给通过除湿而制成规定的露点温度以下且含有氧气与惰性气体的混合气体，以将外模框内的气体进行换气，并调整外模框内的湿度，且一边将暂时成型体从外周侧进行减压，一边通过利用碳电极所实施的放电加热熔融法从暂时成型体的内侧进行加热，来将暂时成型体的外周部分制成烧结体，并将内侧部分制成熔融玻璃体。由此，提供一种二氧化硅容器的制造方法及该种二氧化硅容器，该制造方法是以主成分为二氧化硅的粉体作为主原料，而能以低成本制造出具有高尺寸精确度且碳和OH基含量极少的二氧化硅容器。

主权项

一种二氧化硅容器的制造方法，其特征在于，其用以制造至少具备二氧化硅基体而构成的二氧化硅容器，该二氧化硅基体是以二氧化硅作为主要构成成分，并且，碳浓度为30重量ppm以下，OH基浓度为30重量ppm以下，在外周部分具有含气泡的白色不透明层部，在内周部分具有由实质上不含气泡的二氧化硅玻璃所构成的无色透明层部，并且具有旋转对称性，并且，所述二氧化硅容器的制造方法包含：准备基体用原料粉的工序，所述基体用原料粉是用于形成前述二氧化硅基体的二氧化硅粒子；制成二氧化硅基体的暂时成型体的工序，该工序一边使具有旋转对称性且在内壁分配有减压用孔而形成的外模框旋转，一边导入前述基体用原料粉至该外模框的内壁，将该基体用原料粉按照前述外模框的内壁，暂时成型为规定形状；及形成前述二氧化硅基体的工序，该工序从前述二氧化硅基体的暂时成型体的内侧，供给通过除湿而制成规定的露点温度以下且含有氧气与惰性气体的混合气体，以将前述外模框内的气体进行换气，并调整前述外模框内的湿度，且一边通过形成于前述外模框的减压用孔来进行减压，将前述二氧化硅基体的暂时成型体从外周侧减压而脱气，一边通过利用碳电极所实施的放电加热熔融法，从前述二氧化硅基体的暂时成型体的内侧进行加热，来将前述二氧化硅基体的暂时成型体的外周部分制成烧结体，并将前述二氧化硅基体的暂时成型体的内侧部分制成熔融玻璃体。