发明名称 正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法
摘要 本发明涉及一种正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是提供一种耐裂缝性佳的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。前述树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、含环氧丙烷基的环氧树脂(B)、邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C)以及溶剂(D),其中,该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1),该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得。
申请公布号 CN102566273B 申请公布日期 2014.05.07
申请号 CN201110346718.2 申请日期 2011.11.07
申请人 奇美实业股份有限公司 发明人 陈凯民;施俊安
分类号 G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 G03F7/039(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 张平元
主权项 一种正型感光性树脂组成物,其特征在于,包含如下组分:酚醛清漆树脂(A);含环氧丙烷基的环氧树脂(B);邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C);以及溶剂(D);其中,该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A‑1),该羟基型酚醛清漆树脂(A‑1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得,且基于酚醛清漆树脂(A)100重量份,该羟基型酚醛清漆树脂(A‑1)的使用量为30~100重量份,该含环氧丙烷基的环氧树脂(B)是由不饱和羧酸单体(b1)、含环氧丙烷基化合物(b2)及其他不饱和单体(b3)所共聚合而得。
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