MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法

摘要

MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法，涉及一种干涉仪及其测量玻璃应力的方法。为了解决玻璃应力的测量对于红外材料具有局限性问题。激光器发出的光经声光移频器后为频率为f的1级光和f'的0级光；1级光为信号光，0级光为本振光，1级光经过λ/2波片，进入偏振分束棱镜；再透过部件后，经MEMS振镜7对样品进行扫描后被反射镜反射按原光路返回；光束再次通过部件后，被偏振分束棱镜反射出水平分量，再与0级光拍频，通过改变部件与其入射光偏振方向分别为0°和45°，信号处理系统对探测器测得两个电流进行处理，得到样品的玻璃应力，所述部件为λ/4波片或45°方向加电极的克尔效应晶体。用于测量玻璃应力。

主权项

MEMS扫描式激光外差干涉仪，它包括激光器（1）、声光移频器（2）、第一光纤耦合器（3）、λ/2波片（4）、偏振分束棱镜（5）、MEMS振镜（7）、F‑θ透镜（8）、反射镜（9）、第二光纤耦合器（10）、光纤合束器（11）、探测器（12）、信号处理系统（13）、克尔效应晶体（14）和电极驱动电路（15）；激光器（1）发射的光束入射至声光移频器（2），经声光移频器（2）后出射的光分别为频率f的1级光和频率f'的0级光，频率f'的0级光入射至第一光纤耦合器（3），经第一光纤耦合器（3）耦合后的光束入射至λ/2波片（4），经λ/2波片（4）透射的光束入射至偏振分束棱镜（5），经偏振分束棱镜（5）透射的光束入射至克尔效应晶体（14），经克尔效应晶体（14）透射的光束入射至MEMS振镜（7）；经MEMS振镜（7）反射的光束入射至F‑θ透镜（8），经F‑θ透镜（8）的光束入射至平面反射镜（9），经平面反射镜（9）的反射的光束沿入射光路返回并入射至偏振分束棱镜（5），经偏振分束棱镜（5）反射的光束入射至第二光纤耦合器（10），经第二光纤耦合器（10）耦合后的光束和声光移频器（2）后出射的频率f的1级光均入射至光纤合束器（11），经光纤合束器（11）整合后的光束入射至探测器（12），经探测器（12）输出的交变电流信号发送给信号处理系统（13）；电极驱动电路（15）用于给克尔效应晶体施加电压使其沿指定方向产生双折射效应，所述指定方向与克尔效应晶体（14）入射光偏振方向之间的夹角为45°；其特征在于，电极驱动电路（15）的驱动信号周期与MEMS振镜（7）扫描的周期相同，且电极驱动电路（15）的驱动信号周期内设置半个周期的延迟。