用于操纵流体的微流体的结构元件以及微流体的芯片

摘要

本发明涉及一种用于操纵流体的微流体的结构元件，该微流体的结构元件具有第一基片（1）、第二基片（2）和布置在所述第一基片（1）与所述第二基片（2）之间的由有弹性的材料构成的第三基片（3）。在所述第一基片（1）的朝向所述第三基片（3）的一面上构造了至少一个第一凹处（4），所述第一凹处形成第一控制室（4’）。在所述第二基片（2）的朝向所述第三基片（3）的一面上构造了至少一个第二凹处（5a；5b），所述第二凹处形成用于有待操纵的流体的流体通道或者流体室（5a’；5b’）并且所述第二凹处与所述第一控制室（4’）至少在部分区域中重叠。在所述第一基片（1）中构造了与所述第一控制室（4’）在空间上分开的第二控制室（8’）和将所述第一控制室（4’）与所述第二控制室（8’）连接起来的控制通道（9’）。所述控制室（4’、8’）和所述控制通道（9’）用控制流体来填充并且所述第二控制室（8’）的至少一个侧壁由有弹性的材料构成并且能够通过激励器来如此变形，使得所述第二控制室（8’）的内部空间减小。

主权项

用于操纵流体的微流体的结构元件，具有第一基片（1）、第二基片（2）和布置在所述第一基片（1）与所述第二基片（2）之间的由有弹性的材料构成的第三基片（3），其中‑在所述第一基片（1）的朝向所述第三基片（3）的一面上构造了至少一个第一凹处（4），所述第一凹处形成第一控制室（4’）；‑在所述第二基片（2）的朝向所述第三基片（3）的一面上构造了至少一个第二凹处（5a：5b），所述第二凹处形成用于有待操纵的流体的流体通道或者流体室（5a’、5b’）并且所述第二凹处与所述第一控制室（4’）至少在部分区域中重叠；‑在所述第一基片（1）中构造了与所述第一控制室（4’）在空间上分开的第二控制室（8’）和将所述第一控制室（4’）与所述第二控制室（8’）连接起来的控制通道（9’）；‑所述控制室（4’、8’）和所述控制通道（9’）用控制流体来填充并且‑所述第二控制室（8’）的至少一个侧壁由有弹性的材料构成并且能够通过激励器来如此变形，使得所述第二控制室（8’）的内部空间减小；其特征在于，在所述第一基片（1）的朝向所述第三基片（3）的一面上构造了至少一个第七凹处（61a、61b），该第七凹处形成压力平衡阀，所述压力平衡阀通过第一压力平衡通道（66）与所述第一控制室（4’）、所述第二控制室（8’）或者所述控制通道（9’）相连接并且通过第二压力平衡通道（67）与外部环境相连接。