| 发明名称 | 吸附垫片、研磨装置及吸附垫片的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种吸附垫片、研磨装置及吸附垫片的制造方法。吸附垫片包含一吸附层。该吸附层包含用以吸附一基材的一吸附表面。该吸附表面包含一第一吸附区域及一第二吸附区域，其中该第一吸附区域的吸附力大于该第二吸附区域的吸附力。根据本发明的吸附垫片通过不同吸附区域，使研磨完毕便于卸除该基材，减少基材因卸除而破裂、减少卸除时间及降低卸除困难度。 | ||
| 申请公布号 | CN103769996A | 申请公布日期 | 2014.05.07 |
| 申请号 | CN201210413000.5 | 申请日期 | 2012.10.25 |
| 申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;姚伊蓬;王良光;宋欣如;吴文杰 |
| 分类号 | B24B37/27(2012.01)I;B24B37/00(2012.01)I;B29C59/02(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/27(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种吸附垫片，其包含吸附层，该吸附层包含吸附表面，用以吸附一基材，其中该吸附表面包含：第一吸附区域及第二吸附区域，其中该第一吸附区域的吸附力大于该第二吸附区域的吸附力。 | ||
| 地址 | 中国台湾高雄市 | ||