微机械结构

摘要

本发明涉及一种微机械结构，特别是转速传感器，其具有衬底，衬底具有主延伸平面，微机械机构用于探测绕垂直于主延伸平面延伸的第一方向的第一转速、用于探测绕平行于主延伸平面延伸的第二方向的第二转速并且用于探测绕平行于主延伸平面并且垂直于第二方向延伸的第三方向的第三转速，微机械结构具有被驱动绕平行于第一方向的旋转轴线进行扭转振动的扭转振动元件，微机械结构还具有用于探测第一转速的转速传感器装置，扭转振动元件在平行于主延伸平面的平面中完全环绕转速传感器装置，微机械结构具有转速传感器装置在扭转振动元件处的至少一个第一连接件，其特征在于，微机械结构具有转速传感器装置在衬底处的至少一个第二连接件。

主权项

一种微机械结构（1），特别是转速传感器，其具有衬底（110），所述衬底具有主延伸平面（100），所述微机械机构用于探测绕垂直于所述主延伸平面（100）延伸的第一方向（101）的第一转速并且用于探测绕平行于所述主延伸平面（100）延伸的第二方向（102）的第二转速，其中，所述微机械结构（1）具有被驱动绕平行于所述第一方向（101）的旋转轴线进行扭转振动的扭转振动元件（10），其中，所述微机械结构（1）还具有用于探测所述第一转速的转速传感器装置（12），其中，所述扭转振动元件（10）在平行于所述主延伸平面（100）的平面中完全环绕所述转速传感器装置（12），其中，所述微机械结构（1）具有所述转速传感器装置（12）在所述扭转振动元件（10）处的至少一个第一连接件（31，31’），其特征在于，所述微机械结构（1）具有所述转速传感器装置（12）在所述衬底（110）处的至少一个第二连接件（32，32’）。