密封传动装置

摘要

本发明提供了一种密封传动装置。该密封传动装置具有传动轴高度可调节功能，可以更好的控制薄膜沉积腔室内托盘与加热电阻丝的距离，从而选取最适合晶体外延生长的温区。

主权项

一种密封传动装置，其特征在于，包括： 传动轴，其末端具有外螺纹； 壳体，位于所述传动轴的外围，其上端的壳体法兰与薄膜沉积腔室下方的传动轴孔密封扣合，所述传动轴上部突出壳体法兰的部分伸入薄膜沉积腔室内，其后端位于薄膜沉积腔室之外； 轴套，设置于所述壳体和所述传动轴之间，其末端与所述传动轴的末端通过O型密封圈密封； 轴承，其在径向上设置于所述轴套和壳体之间，其在轴向上位于所述壳体的中部，用于固定所述轴套，并使所述轴套和传动轴可相对于壳体转动； 无轴伺服电机，其在轴向上位于所述轴承和壳体末端之间，其在径向上位于所述轴套与壳体之间，其定子固定在所述壳体上，其转子通过键与所述轴套卡合，用于带动轴套和传动轴转动；以及 轴高度调节组件，其在径向上位于所述传动轴的外围，其在轴向上固定在轴套末端，其上端通过密封压套顶住所述O型密封圈，其内侧具有与传动轴末端外螺纹相匹配的内螺纹，通过旋转所述传动轴或所述轴高度调节组件，实现传动轴高度的调节。