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<p>반복하여 정전기를 인가하더라도 특성의 열화를 일으키지 않는 안정된 특성을 포함한 ESD 보호 디바이스 및 그 제조 방법을 제공한다. 세라믹 기재(1)의 내부에, 대향하도록 형성된 일방측 대향 전극(2a)와 타방측 대향 전극(2b)를 포함하여 이루어지는 대향 전극(2)과, 일방측 대향 전극과 타방측 대향 전극의 각각과 접하고, 일방측 대향 전극으로부터 타방측 대향 전극에 걸치도록 배치된 방전 보조 전극(3)을 포함하고, 방전 보조 전극은 금속 입자와 반도체 입자 및 유리질을 포함하고, 아울러 금속 입자 사이, 반도체 입자 사이, 및 금속 입자와 반도체 입자의 사이가, 유리질을 개재하여 결합되어 있음과 아울러, 금속 입자의 평균 입자 직경 X가 1.0μm 이상이고, 방전 보조 전극의 두께 Y와 금속 입자의 평균 입자 직경 X의 관계가, 0.5≤Y/X≤3의 요건을 만족하는 구성으로 한다.</p> |
