一种MEMS微结构平面位移测量方法

摘要

本发明请求保护混合分形插值和奇异值分解的MEMS微结构平面位移测量方法，涉及图像相位相关技术和MEMS动态测量领域。本发明通过改进传统相位相关法，提出了一种混合分形插值和奇异值分解的MEMS微结构平面位移测量方法，克服了传统方法计算量大，测量分辨率不足的缺陷，实现MEMS微机构平面运动位移的快速高精度测量。

主权项

混合分形插值和奇异值分解的MEMS微结构平面位移测量方法，其特征在于，包括步骤：获取MEMS微结构运动图像中零相位时刻的图像A和任一相位时的图像B；计算图像A和图像B发生位移变化时图像的归一化互功率谱，获得相位相关矩阵Q；对相位相关矩阵进行奇异值分解，获得水平和垂直方向的奇异向量，并进行秩为一的矩阵估计；屏蔽相位相关矩阵中幅值小于阈值的数据，屏蔽距离中心直流分量半径为O以外区域的相位相关矩阵中的数据；利用分形插值对屏蔽数据后的相位相关矩阵的系数进行插值；获得奇异向量，利用最小二乘法对奇异向量的线性相位系数进行拟合，得到拟合直线的斜率；根据拟合直线的斜率确定图像A和图像B之间的位移。