用于传输和处理衬底的装置和方法

摘要

本发明描述了一种用于传输和处理包括晶片在内的衬底的装置和方法，与目前使用的系统相比，在合理成本下有效地获得提高的产能。关键要素是沿处理腔室侧使传递腔室，以通过大气-真空过渡室将衬底装入受控气氛中，然后沿着传递腔室作为到达处理腔室的一条路径，然后离开受控气氛进行接下来在处理腔室中的处理。

主权项

一种衬底处理系统，包括：具有真空部分和大气部分的狭长衬底传递腔室；在真空部分连接在传递腔室上的第一线性轨道；在大气部分连接在传递腔室上的第二线性轨道；线性地架于第一线性轨道上的第一基座；线性地架于第二线性轨道上的第二基座；减速器，其安装于该第一基座上并具有磁耦合从动件作为其输入端以及在其输出端提供较低转速；旋转电机，其安装于该第二基座上，并且使磁性驱动器旋转，该磁性驱动器穿过真空隔板将旋转运动施加到该磁耦合从动件；以及，机械臂，其连接到该减速器的输出端。