发明名称 |
一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件 |
摘要 |
本实用新型属于半导体试验测试技术领域,公开了一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件;包括:VDMOS芯片以及表贴管壳;所述VDMOS芯片封装在所述表贴管壳内;在所述表贴管壳背面,对应VDMOS芯片漏极位置设置通孔。本实用新型通过在VDMOS管的管壳上设置通孔,实现VDMOS管功率芯片的双向单粒子激光脉冲试验,从而更好的模拟功率器件的单粒子效应。 |
申请公布号 |
CN203588990U |
申请公布日期 |
2014.05.07 |
申请号 |
CN201320739599.1 |
申请日期 |
2013.11.20 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
高博;丁凯凯;刘刚;王立新;韩郑生;张彦飞;孙博韬 |
分类号 |
H01L23/04(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京华沛德权律师事务所 11302 |
代理人 |
刘杰 |
主权项 |
一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件;其特征在于,包括:VDMOS芯片以及表贴管壳;所述VDMOS芯片封装在所述表贴管壳内;在所述表贴管壳背面,对应VDMOS芯片漏极位置设置通孔。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |