发明名称 一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件
摘要 本实用新型属于半导体试验测试技术领域,公开了一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件;包括:VDMOS芯片以及表贴管壳;所述VDMOS芯片封装在所述表贴管壳内;在所述表贴管壳背面,对应VDMOS芯片漏极位置设置通孔。本实用新型通过在VDMOS管的管壳上设置通孔,实现VDMOS管功率芯片的双向单粒子激光脉冲试验,从而更好的模拟功率器件的单粒子效应。
申请公布号 CN203588990U 申请公布日期 2014.05.07
申请号 CN201320739599.1 申请日期 2013.11.20
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 高博;丁凯凯;刘刚;王立新;韩郑生;张彦飞;孙博韬
分类号 H01L23/04(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 主分类号 H01L23/04(2006.01)I
代理机构 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人 刘杰
主权项 一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件;其特征在于,包括:VDMOS芯片以及表贴管壳;所述VDMOS芯片封装在所述表贴管壳内;在所述表贴管壳背面,对应VDMOS芯片漏极位置设置通孔。
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