ECHANT FOR SILVER PATTERN

摘要

본 발명은 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)의 제조공정에서 금속막의 습식 식각에 사용되는 식각액에 관한 것으로, Ag 또는 Ag합금으로만 이루어진 단일막, Ag와 이종금속의 합금막 및 Ag와 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide)같은 투명도전성 금속으로 구성된 다중막, 특히 투명전극/Ag-palladium 합금막/투명전극 삼중막과 관련된 식각액에 관한 것이다.