| 摘要 |
<p>본 발명은 과불화 화합물 처리 장치 및 방법을 개시한다. 과불화 화합물 처리 장치 및 방법은, 전처리 세정기가 과불화 화합물을 분해하고 분해 가스인 제 1 산성 가스를 제거하며, 필터가 배기 가스 중의 분진 입자를 필터링하고, 집진기가 배기 가스 중의 분진 입자를 방전에 의해 대전시켜 포집하고, 촉매 반응기가 축열 및 촉매 반응을 통해 과불화 화합물을 분해하고, 후처리 세정기가 축열 및 촉매 반응에 의해 생성되는 제 2 산성 가스를 제거하고, 팬이 정화된 배기 가스를 외부로 배출하는 것을 특징으로 가진다.</p> |
