垂直磁记录介质中的软磁性薄膜层用合金和溅射靶材

摘要

本发明提供一种具有低矫顽力的垂直磁记录介质中的软磁性薄膜层用合金。该合金包含如下成分：选自Ti、Zr、Hf、Nb、Ta和B中的1种以上；W和Sn中的1种或2种(其中，W和Sn中的1种或2种的一部分或全部亦可被V和Mn中的1种或2种置换)；根据需要而选自Al、Cr、Mo、Si、P、C和Ge中的1种以上；根据需要含有的Ni和Cu中的1种或2种；以及余量含有Co和Fe，并且以at.％计满足：(1)6≤Ti％+Zr％+Hf％+Nb％+Ta％+B％／2≤24；(2)Zr％+Hf％≤14；(3)3≤W％+Sn％≤19；(4)0.20≤Fe％／(Fe％+Co％)≤0.90；(5)3≤W％+Sn％+V％+Mn％≤19(其中，V％+Mn％可以为0)；(6)0≤Al％+Cr％+Mo％+Si％+P％+C％+Ge％≤9和(7)0≤Ni％+Cu％≤5。

主权项

一种合金，其是垂直磁记录介质中的软磁性薄膜层用合金，所述合金包含如下成分：‑选自Ti、Zr、Hf、Nb、Ta和B中的1种以上；‑W和Sn中的1种或2种，其中，W和Sn中的1种或2种的一部分或全部亦可被V和Mn中的1种或2种置换；‑根据需要而选自Al、Cr、Mo、Si、P、C和Ge中的1种以上；‑根据需要含有的Ni和Cu中的1种或2种；以及‑余量含有Co和Fe，并且，以at.％计满足下式：(1)6≤Ti％+Zr％+Hf％+Nb％+Ta％+B％／2≤24；(2)Zr％+Hf％≤14；(3)3≤W％+Sn％≤19；(4)0.20≤Fe％／(Fe％+Co％)≤0.90；(5)3≤W％+Sn％+V％+Mn％≤19，其中，V％+Mn％可以为0；(6)0≤Al％+Cr％+Mo％+Si％+P％+C％+Ge％≤9；和(7)0≤Ni％+Cu％≤5。