微型差分电容葡萄糖连续监测阻尼传感器及制作方法

摘要

本发明是一种微型差分电容式葡萄糖连续监测阻尼传感器及制作方法。包括传感器基体、预应力薄膜，传感器基体上设有空气腔，传感器基体上装有溶液腔壁，溶液腔壁围成溶液腔，预应力薄膜固定在传感器基体上，隔开溶液腔和空气腔，微型硅梁穿过预应力薄膜分别置于溶液腔和空气腔中，溶液腔装有允许葡萄糖自由通过、并阻止聚合物溶液逃离溶液腔的半透膜，溶液腔内装有能与微型硅梁作用产生阻尼力的聚合物溶液；空气腔的侧壁上固定有电容固定极板，电容固定极板与微型硅梁上装设的电容动极板组成差分电容，微型硅梁还装设有铁磁材料层。本发明通过电磁场的脉冲激励作用到微型硅梁上的铁磁材料层，引发梁膜结构的振动，改变差分电容值，实现葡萄糖浓度的连续测量。

主权项

一种微型差分电容式葡萄糖连续监测阻尼传感器，其特征在于包括有传感器基体(1)、预应力薄膜(2)、微型硅梁(3)、铁磁材料层(4)、电容动极板(5)、电容固定极板(6)、聚合物溶液(7)、半透膜(8)、溶液腔(9)和空气腔(10)，其中传感器基体(1)上设有空气腔（10），传感器基体(1)上装设有溶液腔壁(12)，溶液腔壁(12)围成溶液腔 (9)，预应力薄膜（2）固定在传感器基体（1）上，隔开溶液腔（9）和空气腔（10），微型硅梁(3)穿过预应力薄膜(2)分别置于溶液腔 (9)和空气腔(10)中，溶液腔(9)装有允许葡萄糖自由通过、并阻止聚合物溶液逃离溶液腔 (9)的半透膜(8)，溶液腔 (9)内装有能与微型硅梁(3)作用产生阻尼力的聚合物溶液(7)；空气腔(10)的侧壁上固定有电容固定极板(6)，电容固定极板(6)与微型硅梁(3)上装设的电容动极板(5)组成差分电容，微型硅梁(3)上还装设有铁磁材料层(4)。