一种高介电常数的Bi_1-XHo_XFeO₃ 铁电薄膜及其制备方法

摘要

一种高介电常数的Bi_1-xHo_xFeO₃铁电薄膜及其制备方法，x=0.04～0.12，该薄膜为扭曲的钙钛矿结构，菱形晶系，均匀性好，空间点群为R-3m(160)，在1kHz频率下，其介电常数为199.3～299.0。制备方法：按摩尔比为(1.05-x):1:x将硝酸铋、硝酸铁和硝酸钬溶于乙二醇甲醚和醋酸酐混合而成的混合液中，得前驱液；在基片上旋涂前驱液，匀胶后烘烤得干膜，再退火，得Bi_1-xHo_xFeO₃薄膜，重复旋涂前驱液、烘烤、退火至达到所需的薄膜厚度，得高介电常数的Bi_1-xHo_xFeO₃铁电薄膜。本发明设备要求简单，掺杂量易控，能够大幅度提高BiFeO₃薄膜的介电性能。

主权项

一种高介电常数的Bi_1‑xHo_xFeO₃铁电薄膜，其特征在于：其化学式为Bi_1‑xHo_xFeO₃，x=0.04～0.12；在1kHz下，其介电常数为199.3～299.0。