一种光刻胶回收系统

摘要

本发明公开了一种光刻胶回收系统，用于解决光刻胶涂布机排出的使用过的光刻胶浪费的问题。所述系统包括：接收装置，接收装置与光刻胶涂布装置连接，分别与第一缓冲装置和第二缓冲装置连接的输送装置，输送装置用于将第一缓冲装置中的光刻胶输送至第二缓冲装置；第二缓冲装置的顶部通过设置有第二控制阀的管道与干洁气源连接；第二缓冲装置的底部连接设置有第四控制阀的管道；第二缓冲装置用于容纳输送装置输送的使用过的光刻胶，并在干洁气源提供的气压下，通过所述设置有第四控制阀的管道将所述使用过的光刻胶输送至胶桶。光刻胶涂布机排出的使用过的光刻胶通过上述各装置进入胶桶，可以再次利用，从而降低生产成本。

主权项

一种光刻胶回收系统，其特征在于，包括：接收装置，所述接收装置与光刻胶涂布装置连接，用于接收所述光刻胶涂布装置排出的使用过的光刻胶；第一缓冲装置，所述第一缓冲装置的顶部与所述接收装置的底部连接；用于容纳所述接收装置接收的所述使用过的光刻胶；输送装置，通过设置有第一控制阀的管道与所述第一缓冲装置的底部连接，以及与第二缓冲装置连接；所述输送装置用于将所述第一缓冲装置中的所述使用过的光刻胶输送至所述第二缓冲装置中；所述第二缓冲装置的顶部通过设置有第二控制阀的管道与干洁气源连接；所述第二缓冲装置的底部连接设置有第四控制阀的管道；所述第二缓冲装置用于容纳所述输送装置输送的所述使用过的光刻胶，并在干洁气源提供的气压下，通过所述设置有第四控制阀的管道将所述使用过的光刻胶输送至胶桶。