制造单晶锭的装置

摘要

本发明公开了一种制造单晶锭的装置，包括：主体；设置在主体内的坩埚；主加热器，所述主加热器设置在坩埚的四周；籽晶夹头，所述籽晶夹头位于所述坩埚之上用于夹持籽晶；热交换器，所述热交换器位于所述坩埚的顶部和籽晶夹头之间，所述籽晶夹头可升降地穿过所述热交换器且所述热交换器中通入冷却介质以对所述籽晶进行冷却；和第一保温部件，所述第一保温部件设置在所述热交换器与所述坩埚之间。根据本发明的制造单晶锭的装置，可以通过从主体之外将用于热交换的流体循环地通入到所述热交换器内来控制所述坩埚内的热交换，以控制所述部分熔化的籽晶和熔化的给料的定向凝固，从而实现了例如氦气的流体的充分利用。

主权项

一种制造单晶锭的装置，其特征在于，包括：主体；设置在所述主体内的坩埚；主加热器，所述主加热器设置在所述坩埚的四周，用于熔化容纳在坩埚内的给料；籽晶夹头，所述籽晶夹头位于所述坩埚之上，用于夹持籽晶；热交换器，所述热交换器位于所述坩埚的顶部和籽晶夹头之间，所述籽晶夹头可升降地穿过所述热交换器且所述热交换器中通入冷却介质以对所述籽晶进行冷却；和第一保温部件，所述第一保温部件设置在所述热交换器与所述坩埚之间。