低成本低介低损耗LTCC微波陶瓷材料及其制备方法

摘要

本发明提供一种以(Zn_1-xCo_x)₂SiO₄，0.05≤x≤0.1为主晶相组成的低成本低介低损耗LTCC微波陶瓷材料及其制备方法。该陶瓷材料在硅锌矿结构的Zn₂SiO₄基础上进行了适量C_o²⁺的替代，采用LBSCA玻璃助烧降低烧结温度，可实现900℃低温烧结，制备得该微波陶瓷材料介电常数ε_r为6.1～6.6，具有极低微波损耗、品质因数Q×f值均在30000GHz以上、最高可达到56939GHz，谐振频率温度系数τ_f约为-55ppm/℃；其制备方法以Co₂O₃、ZnO、SiO₂原料，依次进行称料、一次球磨、烘料、预烧、掺杂、二次球磨、烘料、造粒、成型、烧结工艺；生产原料便宜、生产成本低、制备工艺简单。该微波陶瓷材料在作为LTCC微波介质基板或器件材料时，可以显著降低微波器件或模块的损耗。

主权项

低成本低介低损耗LTCC微波陶瓷材料，其特征在于，该陶瓷材料的分子结构表达式为(Zn_1‑xCo_x)₂SiO₄，其中0.05≤x≤0.1。