一种电子级正硅酸四乙酯的制备方法

摘要

本发明涉及一种电子级正硅酸四乙酯的制备方法，尤其涉及一种用于半导体行业化学气相沉积用电子级正硅酸四乙酯的制备方法，先用络合剂络合原料中大部分金属杂质后，用0.１微米的微孔过滤器过滤；通过阳离子交换塔、石英板式蒸馏塔、亚沸蒸馏器，严格控制温度，去除微量金属杂质、乙醇及其有机杂质和水份。采用常规提纯设备，操作方便，利于工业规模化生产，产品成本低。

主权项

一种电子级正硅酸四乙酯的制备方法，其特征在于包括如下步骤：（1）在工业级正硅酸四乙酯原料中加入分析纯乙二胺四乙酸络合剂，充分混合、搅拌30－60分钟，进入0.１微米的微孔过滤器过滤；（2）将过滤所得滤液经过阳离子交换柱装置，收集滤液；（3）将收集的滤液加入蒸馏塔进行蒸馏，全回流7～16h小时之后，从塔顶采集馏份159～166℃； （4）将收集到的馏份经亚沸蒸馏器进行蒸馏，调节亚沸蒸馏器加热装置电压，保持液面温度在90～100℃，收集90～100℃蒸馏品；（５）将收集到的蒸馏品在整体不大于千级、局部不大于百级的洁净室，用石英源瓶进行灌装，得到电子级正硅酸四乙酯产品。