光敏苯并环丁烯树脂组合物及制备方法以及其图案化方法

摘要

本发明公开了一种光敏苯并环丁烯树脂组合物，包括苯并环丁烯树脂、光敏剂及有机溶剂，从而具有感光性，且其成膜性好，耐热性好；还公开了一种光敏苯并环丁烯树脂组合物的制备方法，通过将苯并环丁烯树脂加入至有机溶剂中，搅拌至完全溶解；在完全溶解后的苯并环丁烯树脂与有机溶剂的混合溶液中加入光敏剂，并在紫外屏蔽条件下搅拌，从而得到负性光敏苯并环丁烯树脂组合物，该方法简单方便；还公开了一种上述树脂组合物的图案化方法，通过在一涂膜基材上旋转涂敷光敏苯并环丁烯树脂组合物，之后依次经过前烘、曝光、显影、固化，得到具有机械强度的图案化光敏苯并环丁烯树脂，该方法不需使用光刻胶，简单方便，且大大降低成本。

主权项

1.一种光敏苯并环丁烯树脂组合物，其特征在于，包括如下组分：苯并环丁烯树脂，光敏剂，以及有机溶剂； 其中，所述苯并环丁烯树脂的结构式如下： 其中，R为O、CO、C(CH₃)₂、C(CF₃)₂、S、SO₂中的任一种。