| 发明名称 | 成膜装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能抑制基板的温度升高得成膜装置。成膜装置具备：成膜部（20），其将包含膜的形成材料的粒子朝向基板S喷出；冷却部，其对冷却部件（33）进行冷却；以及配置部（10），其在从冷却部件（33）离开且与冷却部件（33）相对的位置上配置基板（S）。 | ||
| 申请公布号 | CN103774093A | 申请公布日期 | 2014.05.07 |
| 申请号 | CN201310261852.1 | 申请日期 | 2013.06.27 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 大野哲宏;佐藤优;中岛铁兵 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人 | 段迎春 |
| 主权项 | 一种成膜装置，具备：成膜部，其将包含膜的形成材料的粒子朝向基板喷出；冷却部，其对冷却部件进行冷却；以及配置部，其在从所述冷却部件离开并与所述冷却部件相对的位置上配置所述基板。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县茅崎市萩园2500番地 | ||