具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置

摘要

进行销顶端部的清洁而不会中断连续地检查多个基板的基板检查。基板检查装置（10、70）具有在运送路上以既定的间隔设置的被检查基板保持部（40）、沿运送路移动被检查基板保持部的移动机构（22t）、设置在运送路的中途而顺次检查保持在被检查基板保持部上的被检查基板的检查部（30）、在运送路上以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间设置的清洁机构（50）。检查部通过令多个销与被检查基板上的配线的检查点接触而测定该配线的电气特性。清洁机构利用移动机构而移动，在通过检查部时进行多个销的清洁。

主权项

一种基板检查装置，具有：运送机构，具有从运入部到运出部的运送路、保持被检查基板的被检查基板保持部、沿上述运送路移动该被检查基板保持部的移动机构；检查部，设置在上述运送路的中途，对被保持在上述运送机构的上述被检查基板保持部上的被检查基板顺次地进行检查，具有检查夹具，令设置在该检查夹具上的多个销与被检查基板上的配线的检查点接触，从而测定该配线的电气特性；清洁机构，在上述运送路上设置在以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间，被上述运送机构的上述移动机构沿上述运送路移动，在通过上述检查部时进行上述多个销的清洁，上述清洁机构具有刷子，该刷子具有沿着被上述移动机构移动的移动方向的纤维流，向与上述移动方向相反的方向倾斜而被保持。