| 发明名称 | 超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于靶材制造技术领域，具体涉及一种超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法。金属粉体的选用，将热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中，金属粉体采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂，对喷涂完毕的工件进行精密机械加工，即获得超低氧含量热喷涂管靶。制备的超低氧含量热喷涂管靶的氧含量为1-2000ppm，纯度为99-99.999%，平均粒径为1-100微米，孔隙率为0.1-3%。本发明设计合理，简单易行，适用于工业化生产，制备的超低氧含量热喷涂管靶具有超低的氧含量、细小的晶粒和高的致密度。 | ||
| 申请公布号 | CN103774101A | 申请公布日期 | 2014.05.07 |
| 申请号 | CN201410051665.5 | 申请日期 | 2014.02.14 |
| 申请人 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 | 发明人 | 宋爱谋;钟小亮 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人 | 耿霞 |
| 主权项 | 一种超低氧含量热喷涂管靶，其特征在于所述的超低氧含量热喷涂管靶的氧含量为1‑2000ppm，纯度为99‑99.999%，平均粒径为1‑100微米，孔隙率为0.1‑3%。 | ||
| 地址 | 255100 山东省淄博市淄川区商家镇 | ||