照明光学设备、曝光设备、照明方法、曝光方法和装置制造方法

摘要

一种照明光学设备具有光学单元(3)。所述光学单元具有：分光器(35)，用以使入射射束分裂成两个射束；第一空间光调制器(33)，其可布置于第一射束的光学路径中；第二空间光调制器(34)，其可布置于第二射束的光学路径中；和光组合器(36)，其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件(33a、34a)。

主权项

一种照明光学设备，使照明光对于形成有图案的掩膜进行照明，所述照明光学设备的特征在于包括：空间光调制器，含有：反射所述照明光的多个反射表面，对于所述多个反射表面进行个别控制，而在所述照明光学设备的照明光瞳中形成所述照明光的强度分布；偏振单元，配置于所述照明光的光路中，将所述照明光瞳中的所述照明光以成为圆周方向偏振状态的方式，来变换所述照明光的偏振方向；光学积分器，配置于所述空间光调制器与所述照明光瞳之间的光路中；以及反射部件，含有：与所述多个反射表面不同的反射表面，将所述照明光进行反射；其中，所述空间光调制器与所述反射部件是：以使朝向预定的行进方向行进的所述照明光，经由所述空间光调制器与所述反射部件之后，朝向与所述预定的行进方向为实质的平行方向而行进的方式，来进行配置。