热式气体传感器

摘要

本发明提供一种热式气体传感器，能够进行基于热传导率变化的气体分析，具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有：基板(2)，具有空洞部(5)；薄膜支撑体(6)，层叠于空洞部上，由多个绝缘层(8a、8b)构成；和第一发热体(3)及第二发热体(4)，夹持于薄膜支撑体的绝缘层中；其中，第二发热体配置在第一发热体的周边，第一发热体被控制为高于第二发热体的温度，基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。

主权项

一种热式气体传感器，其特征在于，具有：基板，具有空洞部；薄膜支撑体，层叠于所述空洞部上，由多个绝缘层构成；和第一发热体以及第二发热体，夹持于所述薄膜支撑体的绝缘层中；其中，所述第二发热体配置在所述第一发热体的周边，所述第一发热体被控制为高于所述第二发热体的温度，并且设所述第一发热体的加热温度为T1，所述第二发热体的加热温度为T2，所述热式气体传感器周边的气体温度为T3，从所述空洞部的端部到所述第一发热体的距离为X3，从所述空洞部的端部到所述第二发热体的距离为X4，则所述第二发热体的加热温度T2被设定在T1·X4/X3+T3<T2<T1的范围内，基于对所述第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。