抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、化合物以及产酸剂

摘要

本发明提供抗蚀剂组合物、使用该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、用作该抗蚀剂组合物用产酸剂的化合物、用作该化合物的前体的化合物以及该产酸剂。其中，涉及通式(I)表示的化合物；以及通式(b1-1)表示的化合物(式中，Q¹是2价连接基团或单键；Y¹是可具有取代基的亚烷基或可具有取代基的氟代亚烷基；X表示可具有取代基的碳原子数为3～30的环式基，该环结构中具有-SO₂-键。M⁺是碱金属离子。A⁺是有机阳离子。)

主权项

1.一种方法，其是制造下述通式(b1-1)表示的化合物的方法，包括使下述通式(I)表示的化合物(I)与下述通式(Ⅱ)表示的化合物(Ⅱ)反应的步骤，A⁺Z^-   …(II)式中，Q¹是酯键、醚键或-R⁹²-O-C(=O)-，其中，R⁹²为碳原子数为1～3的亚烷基；Y¹是未取代或具有碳原子数为1～5的烷基、碳原子数为1～5的烷氧基、卤原子、碳原子数为1～5的卤代烷基、羟基、氧原子(=O)作为取代基的直链状或支链状的碳原子数为1～6的氟代亚烷基；X为下述通式(X-4)表示的环式基；A⁺为下述通式(b’-1)、(b’-2)或(b-6)表示的阳离子部；M⁺是碱金属离子；Z^-是低亲核性的卤离子、对甲苯磺酸离子、甲磺酸离子、苯磺酸离子或三氟甲磺酸离子、BF₄^-、AsF₆^-、SbF₆^-、PF₆^-或ClO₄^-；式中，R²是碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基、碳原子数为1～6的卤代烷基、卤原子、羟基、-COOR”、-OC(=O)R”、碳原子数为1～6的羟烷基或氰基；R”为氢原子或碳原子数为1～15的直链状、支链状或环状的烷基；a是0～2的整数；A’是碳原子数为1～5的亚烷基、-O-、-S-、-O-R³-或-S-R⁴-；R³和R⁴分别独立地为碳原子数为1～5的亚烷基；式中，R¹”～R³”、R⁵”～R⁶”分别独立地表示碳原子数6～20的芳基或碳原子数1～10的烷基；R¹”～R³”中的任意2个可以相互键合并与式中的硫原子一起成环；R¹”～R³”中的至少一个表示碳原子数6～20的芳基，R⁵”～R⁶”中的至少一个表示碳原子数6～20的芳基；式中，R⁴⁴～R⁴⁶分别独立地为碳原子数1～5的烷基、乙酰基、碳原子数1～5的烷氧基、羧基或碳原子数1～5的羟烷基；n₄～n₅分别独立地为0～3的整数，其中n₆为0～2的整数。