一种冰晶石的制备方法

摘要

本发明公开了一种冰晶石的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S11：利用碳酸钠与硅烷法制备多晶硅工艺中产生的副产品氟硅酸反应制备氟化钠；S12：利用上述氟化钠与硅烷法制备多晶硅工艺中产生的副产品四氟化铝钠反应制备六氟化铝钠；S13：将上述六氟化铝钠烘干煅烧制备成冰晶石。该种制备方法一方面能够充分利用硅烷法制备多晶硅工艺中产生的副产品氟硅酸和四氟化铝钠，原料成本低；另一面能够避免现有技术中干法和湿法制备冰晶石所产生的腐蚀性和毒性的氟化氢气体，安全性和环保性好。

主权项

一种冰晶石的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S11：利用碳酸钠与硅烷法制备多晶硅工艺中产生的副产品氟硅酸反应制备氟化钠，碳酸钠的浓度范围为10%‑15%，氟硅酸的浓度范围为10%‑18%，制备氟化钠的反应温度范围为20‑80℃，压力为常压；S12：利用上述氟化钠与硅烷法制备多晶硅工艺中产生的副产品四氟化铝钠反应制备六氟化铝钠，四氟化铝钠的粒度范围为40‑200目，配制的浆料的浓度范围是30%‑40%，制备六氟化铝钠的反应温度范围为20‑80℃，压力为常压；S13：将上述六氟化铝钠烘干煅烧制备成冰晶石。