可配置带电粒子装置

摘要

本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

主权项

可配置带电粒子装置（100），其装配有：·带电粒子柱（102），其包括：    ○用于沿光轴（106）产生带电粒子束的带电粒子源（104）；和    ○用于将带电粒子束聚焦在样本位置的磁浸没透镜（107），所述磁浸没透镜包括第一透镜极（108），所述第一透镜极形成磁浸没透镜的从带电粒子源被移开最远的部分；·围绕第一透镜极的励磁线圈（110）；·至少第一载物台（112），在所述第一载物台上可以安装样本（114），所述第一载物台关于光轴可移动；和·一个或多个检测器（116,118），用于检测响应于带电粒子束激发样本而从样本发出的辐射；所述浸没透镜具有可配置磁路；其特征在于所述装置具有至少第一配置（图1）和第二配置（图2），在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台（112）上的第二透镜极（120），所述第二透镜极与光轴（106）相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本（114）的第二载物台（130），所述第二载物台被装配以在第一透镜极（108）和第二透镜极（120）之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜（107）的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。