真空等离子体表面处理设备

摘要

本发明提供了一种真空等离子体表面处理设备，用于处理卷绕材料，其包括放卷仓、收卷仓及等离子体处理仓，其中：放卷仓内部设有放卷导辊和放卷张力辅助导辊，且放卷仓与等离子体处理仓连接的处设有开口，用于将卷绕材料由放卷仓穿入到等离子体处理仓；等离子体处理仓安装有支撑辅助导辊和上、下电极板，支撑辅助导棍用于支撑所述卷绕材料并所述防止材料垂落到所述上、下电极板，且支撑辅助导辊的上切面位于下电极板和上电极板的中心位置；收卷仓内部安装有纠偏系统、收卷张力辅助导辊和收卷导辊，用于对发生偏离的所述卷绕材料的位置进行引导纠正。本发明采用自动放卷收卷，在真空下自动完成卷绕材料的等离子体表面处理工序，大大提高了生产效率。

主权项

一种真空等离子体表面处理设备，用于处理卷绕材料，其特征在于，所述处理设备包括放卷仓、收卷仓及连接在所述放卷仓和收卷仓之间的等离子体处理仓，其中：所述放卷仓内部设有放卷导辊和放卷张力辅助导辊，且所述放卷仓与等离子体处理仓连接的处设有开口，用于将所述卷绕材料由所述放卷仓穿入到所述等离子体处理仓；所述等离子体处理仓安装有支撑辅助导辊和上、下电极板，所述支撑辅助导棍用于支撑所述卷绕材料并防止所述材料垂落到所述上、下电极板，且所述支撑辅助导辊的上切面位于所述下电极板和上电极板的中心位置；所述收卷仓内部安装有纠偏系统、收卷张力辅助导辊和收卷导辊，所述纠偏系统用于对发生偏离的所述卷绕材料的位置进行引导纠正。