发明名称 谱数据分析的方法和系统
摘要 一种谱数据分析的方法和系统。该方法包含以下步骤:收集未知材料的谱;提供一组元素数据模板;在逼近该谱时计算针对该元素数据模板的最小二乘方加权;在逼近该谱时除去一个或更多个有负加权的模板;以及在所述一个或更多个模板被除去的情况下重新计算该谱的逼近。
申请公布号 CN103776855A 申请公布日期 2014.05.07
申请号 CN201310203778.8 申请日期 2009.02.06
申请人 FEI公司 发明人 D·R·科贝特;P·戈特利布;M·J·欧文;A·H·门兹斯
分类号 G01N23/207(2006.01)I 主分类号 G01N23/207(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 杜娟娟;王忠忠
主权项 一种样品的谱数据分析方法,该方法包含以下步骤:收集未知材料的谱;提供一组数据模板,每个数据模板对应于具体材料;确定要被应用于该数据模板以逼近该谱的一组第一组加权因子,该加权因子是通过最小化已加权的元素数据模板和该未知材料的谱之间的误差因子而确定的;除去具有负加权因子的一个或更多个模板;用所述一个或更多个数据模板来重新计算该谱的逼近;以及从该加权因子确定存在于该样品中的材料。
地址 美国俄勒冈州